Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | // «Вакуумная техника и технологии» BTT – 2020. Труды 27-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием |
| Place of Publication | Санкт Петербург |
| Publisher | СПбГЭТУ "ЛЭТИ" |
| Pages | 40-44 |
| Number of pages | 5 |
| ISBN (Electronic) | 978-5-7629-2727-7 |
| ISBN (Print) | 978-5-7629-2727-7 |
| Publication status | Published - Oct 2020 |
ID: 27161680