Standard

Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач. / Иешкин, Алексей Евгеньевич; Толстогузов, Александр Борисович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич et al.

In: Успехи физических наук, Vol. 192, No. 7, 2, 01.07.2022, p. 722-753.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Иешкин, АЕ, Толстогузов, АБ, Коробейщиков, НГ, Пеленович, ВО & Черныш, ВС 2022, 'Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач', Успехи физических наук, vol. 192, no. 7, 2, pp. 722-753. https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994

APA

Иешкин, А. Е., Толстогузов, А. Б., Коробейщиков, Н. Г., Пеленович, В. О., & Черныш, В. С. (2022). Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач. Успехи физических наук, 192(7), 722-753. [2]. https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.06.038994

Vancouver

Иешкин АЕ, Толстогузов АБ, Коробейщиков НГ, Пеленович ВО, Черныш ВС. Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач. Успехи физических наук. 2022 Jul 1;192(7):722-753. 2. doi: 10.3367/UFNr.2021.06.038994

Author

Иешкин, Алексей Евгеньевич ; Толстогузов, Александр Борисович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич et al. / Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач. In: Успехи физических наук. 2022 ; Vol. 192, No. 7. pp. 722-753.

BibTeX

@article{0f6215a203e44522b84607e07344a7db,
title = "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач",
abstract = "Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.",
author = "Иешкин, {Алексей Евгеньевич} and Толстогузов, {Александр Борисович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and В.О. Пеленович and В.С. Черныш",
note = "Иешкин А.Е., Толстогузов А.Б., Коробейщиков Н.Г., Пеленович В.О., Черныш В.С. Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач // Успехи физических наук. - 2022. - Т. 192. - № 7. - С. 722–753.",
year = "2022",
month = jul,
day = "1",
doi = "10.3367/UFNr.2021.06.038994",
language = "русский",
volume = "192",
pages = "722--753",
journal = "Успехи физических наук",
issn = "0042-1294",
publisher = "Редакция журнала «Успехи физических наук»",
number = "7",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

AU - Иешкин, Алексей Евгеньевич

AU - Толстогузов, Александр Борисович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Пеленович, В.О.

AU - Черныш, В.С.

N1 - Иешкин А.Е., Толстогузов А.Б., Коробейщиков Н.Г., Пеленович В.О., Черныш В.С. Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач // Успехи физических наук. - 2022. - Т. 192. - № 7. - С. 722–753.

PY - 2022/7/1

Y1 - 2022/7/1

N2 - Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

AB - Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/2b139d72-c3c3-308a-a6ac-08baa941ae58/

U2 - 10.3367/UFNr.2021.06.038994

DO - 10.3367/UFNr.2021.06.038994

M3 - статья

VL - 192

SP - 722

EP - 753

JO - Успехи физических наук

JF - Успехи физических наук

SN - 0042-1294

IS - 7

M1 - 2

ER -

ID: 36559003