Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Article in an anthology › peer-review
Final published version
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Вакуумная техника и технологии – 2018 |
| Subtitle of host publication | Труды 25-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. 5–7 июня 2018 г. |
| Place of Publication | Санкт-Петербург |
| Pages | 202-206 |
| Number of pages | 5 |
| Volume | 25 |
| Publication status | Published - 5 Jun 2018 |
| Event | Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием "Вакуумная техника и технологии – 2018" - Санкт-Петербург, Russian Federation Duration: 5 Jun 2018 → 7 Jun 2018 Conference number: 25 |
| Conference | Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием "Вакуумная техника и технологии – 2018" |
|---|---|
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Санкт-Петербург |
| Period | 05.06.2018 → 07.06.2018 |
ID: 27225598