Original languageRussian
Title of host publicationТруды 31-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технологии – 2024» 25–27 июня 2024 г. Санкт-Петербург / под ред. Д. К. Кострина, С. А. Марцынюкова и В. А. Симона.
PublisherСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)
Pages45-49
ISBN (Print)978-5-7629-3367-4.
Publication statusPublished - 2024

ID: 61224495