Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Труды 31-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технологии – 2024» 25–27 июня 2024 г. Санкт-Петербург / под ред. Д. К. Кострина, С. А. Марцынюкова и В. А. Симона. |
| Publisher | СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2024. – 417 с. |
| Pages | 45-49 |
| ISBN (Print) | 978-5-7629-3367-4. |
| Publication status | Published - 2024 |
ID: 61224495