Standard

Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния. / Непомнящий, Валерий Александрович; Замчий, Александр Олегович; Володин, Владимир Алексеевич et al.

АППН - 2023: Тезисы докладов школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем". Новосибирск : ООО "ДигитПРО", 2023. p. 46-47.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Harvard

Непомнящий, ВА, Замчий, АО, Володин, ВА & Баранов, ЕА 2023, Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния. in АППН - 2023: Тезисы докладов школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем". ООО "ДигитПРО", Новосибирск, pp. 46-47.

APA

Непомнящий, В. А., Замчий, А. О., Володин, В. А., & Баранов, Е. А. (2023). Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния. In АППН - 2023: Тезисы докладов школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем" (pp. 46-47). ООО "ДигитПРО".

Vancouver

Непомнящий ВА, Замчий АО, Володин ВА, Баранов ЕА. Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния. In АППН - 2023: Тезисы докладов школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем". Новосибирск: ООО "ДигитПРО". 2023. p. 46-47

Author

Непомнящий, Валерий Александрович ; Замчий, Александр Олегович ; Володин, Владимир Алексеевич et al. / Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния. АППН - 2023: Тезисы докладов школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем". Новосибирск : ООО "ДигитПРО", 2023. pp. 46-47

BibTeX

@inproceedings{576d92c0016c498e903da2c678990794,
title = "Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния",
author = "Непомнящий, {Валерий Александрович} and Замчий, {Александр Олегович} and Володин, {Владимир Алексеевич} and Баранов, {Евгений Александрович}",
note = "Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния / В. А. Непомнящих, А. О. Замчий, В. А. Володин, Е. А. Баранов // АППН-2023: Тезисы докладов Школы молодых учёных {"}Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем{"} : Тезисы докладов Школы молодых учёных {"}Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем{"}, Новосибирск, 29–30 ноября 2023 года / ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН. – Новосибирск: ДигитПро, 2023. – С. 46-47. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22- 79-10079",
year = "2023",
language = "русский",
pages = "46--47",
booktitle = "АППН - 2023",
publisher = "ООО {"}ДигитПРО{"}",
address = "Российская Федерация",

}

RIS

TY - GEN

T1 - Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния

AU - Непомнящий, Валерий Александрович

AU - Замчий, Александр Олегович

AU - Володин, Владимир Алексеевич

AU - Баранов, Евгений Александрович

N1 - Состав и структура тонких пленок аморфного нестехиометрического оксида кремния / В. А. Непомнящих, А. О. Замчий, В. А. Володин, Е. А. Баранов // АППН-2023: Тезисы докладов Школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем" : Тезисы докладов Школы молодых учёных "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем", Новосибирск, 29–30 ноября 2023 года / ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН. – Новосибирск: ДигитПро, 2023. – С. 46-47. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22- 79-10079

PY - 2023

Y1 - 2023

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67301441&pff=1

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SP - 46

EP - 47

BT - АППН - 2023

PB - ООО "ДигитПРО"

CY - Новосибирск

ER -

ID: 65168653