Standard

Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики. / Асеев, Александр Леонидович; Гейдт, Павел Викторович.

2024. 7 Abstract from XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

Harvard

Асеев, АЛ & Гейдт, ПВ 2024, 'Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики', XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, Russian Federation, 15.07.2024 - 20.07.2024 pp. 7.

APA

Асеев, А. Л., & Гейдт, П. В. (2024). Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики. 7. Abstract from XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, Russian Federation.

Vancouver

Асеев АЛ, Гейдт ПВ. Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики. 2024. Abstract from XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, Russian Federation.

Author

Асеев, Александр Леонидович ; Гейдт, Павел Викторович. / Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики. Abstract from XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, Russian Federation.1 p.

BibTeX

@conference{454a1ba18e07449e87801644498db0a3,
title = "Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики",
author = "Асеев, {Александр Леонидович} and Гейдт, {Павел Викторович}",
note = "Асеев А.Л., Гейдт П.В. Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики // Кремний-2024 : Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Иркутск, 15–20 июля 2024 года. – Иркутск: Институт географии им. В.Б. Сочавы СО РАН, 2024. – С. 7. – EDN BYZFYH. Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ (проект ГЗ № FSUS-2024- 0020).; XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, Кремний-2024 ; Conference date: 15-07-2024 Through 20-07-2024",
year = "2024",
language = "русский",
pages = "7",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики

AU - Асеев, Александр Леонидович

AU - Гейдт, Павел Викторович

N1 - Conference code: 15

PY - 2024

Y1 - 2024

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=68585458

M3 - тезисы

SP - 7

T2 - XV Конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе

Y2 - 15 July 2024 through 20 July 2024

ER -

ID: 75572767