Standard

Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния. / Толстогузов, А.Б.; Дроздов, М.Н.; Иешкин , Алексей Евгеньевич et al.

In: Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, Vol. 111, No. 7-8 (4), 20, 11.03.2020, p. 531-535.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Толстогузов, АБ, Дроздов, МН, Иешкин , АЕ, Татаринцев , АА, Мяконьких, АВ, Белых, СФ, Коробейщиков, НГ, Пеленович, ВО & Фу, Д 2020, 'Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния', Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, vol. 111, no. 7-8 (4), 20, pp. 531-535. https://doi.org/10.31857/S1234567820080091

APA

Толстогузов, А. Б., Дроздов, М. Н., Иешкин , А. Е., Татаринцев , А. А., Мяконьких, А. В., Белых, С. Ф., Коробейщиков, Н. Г., Пеленович, В. О., & Фу, Д. (2020). Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния. Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 111(7-8 (4)), 531-535. [20]. https://doi.org/10.31857/S1234567820080091

Vancouver

Толстогузов АБ, Дроздов МН, Иешкин АЕ, Татаринцев АА, Мяконьких АВ, Белых СФ et al. Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния. Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2020 Mar 11;111(7-8 (4)):531-535. 20. doi: 10.31857/S1234567820080091

Author

Толстогузов, А.Б. ; Дроздов, М.Н. ; Иешкин , Алексей Евгеньевич et al. / Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния. In: Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2020 ; Vol. 111, No. 7-8 (4). pp. 531-535.

BibTeX

@article{1ff5d57568324461bd8cae2f45f99fdb,
title = "Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния",
abstract = "Проведено изучение размерного эффекта, приводящего к увеличению эмиссии многоатомных кластерных ионов из наноструктур кремния по сравнению с макроскопическим образцом. Впервые для этих целей были использованы периодические структуры с шириной гребней 10 и 50 нм, изготовленные методом электронно-лучевой литографии с последующим плазмохимическим травлением. Показано, что для структур с эффективной шириной гребня, соизмеримой с величиной среднего проективного пробега бомбардирующего иона висмута в кремнии, выход многоатомных кластерных ионов значительно превосходит аналогичный показатель для макроскопических образцов, например, для 28Si-10 (280m/z) более, чем в 5 раз. Этот эффект объяснен частичным ограничением каналов диссипации энергии, выделяемой бомбардирующим ионом в объеме структуры, что стимулирует более эффективное развитие каскадов нелинейных столкновений в таком объеме и в итоге активизирует выход многоатомных кластерных ионов.",
author = "А.Б. Толстогузов and М.Н. Дроздов and Иешкин, {Алексей Евгеньевич} and А.А Татаринцев and Мяконьких, {Андрей Валерьевич} and С.Ф. Белых and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and В.О. Пеленович and Д. Фу",
note = "Толстогузов А.Б., Дроздов М.Н., Иешкин А.Е., Татаринцев А.А., Мяконьких А.В., Белых С.Ф., Коробейщиков Н.Г., Пеленович В.О., Фу Д. Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния // Письма в ЖЭТФ. - 2020. - Т. 111. - № 7-8. - С. 531-535",
year = "2020",
month = mar,
day = "11",
doi = "10.31857/S1234567820080091",
language = "русский",
volume = "111",
pages = "531--535",
journal = "Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики",
issn = "0370-274X",
publisher = "Институт физических проблем им. П.Л. Капицы РАН (Москва)",
number = "7-8 (4)",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния

AU - Толстогузов, А.Б.

AU - Дроздов, М.Н.

AU - Иешкин , Алексей Евгеньевич

AU - Татаринцев , А.А

AU - Мяконьких, Андрей Валерьевич

AU - Белых, С.Ф.

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Пеленович, В.О.

AU - Фу, Д.

N1 - Толстогузов А.Б., Дроздов М.Н., Иешкин А.Е., Татаринцев А.А., Мяконьких А.В., Белых С.Ф., Коробейщиков Н.Г., Пеленович В.О., Фу Д. Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния // Письма в ЖЭТФ. - 2020. - Т. 111. - № 7-8. - С. 531-535

PY - 2020/3/11

Y1 - 2020/3/11

N2 - Проведено изучение размерного эффекта, приводящего к увеличению эмиссии многоатомных кластерных ионов из наноструктур кремния по сравнению с макроскопическим образцом. Впервые для этих целей были использованы периодические структуры с шириной гребней 10 и 50 нм, изготовленные методом электронно-лучевой литографии с последующим плазмохимическим травлением. Показано, что для структур с эффективной шириной гребня, соизмеримой с величиной среднего проективного пробега бомбардирующего иона висмута в кремнии, выход многоатомных кластерных ионов значительно превосходит аналогичный показатель для макроскопических образцов, например, для 28Si-10 (280m/z) более, чем в 5 раз. Этот эффект объяснен частичным ограничением каналов диссипации энергии, выделяемой бомбардирующим ионом в объеме структуры, что стимулирует более эффективное развитие каскадов нелинейных столкновений в таком объеме и в итоге активизирует выход многоатомных кластерных ионов.

AB - Проведено изучение размерного эффекта, приводящего к увеличению эмиссии многоатомных кластерных ионов из наноструктур кремния по сравнению с макроскопическим образцом. Впервые для этих целей были использованы периодические структуры с шириной гребней 10 и 50 нм, изготовленные методом электронно-лучевой литографии с последующим плазмохимическим травлением. Показано, что для структур с эффективной шириной гребня, соизмеримой с величиной среднего проективного пробега бомбардирующего иона висмута в кремнии, выход многоатомных кластерных ионов значительно превосходит аналогичный показатель для макроскопических образцов, например, для 28Si-10 (280m/z) более, чем в 5 раз. Этот эффект объяснен частичным ограничением каналов диссипации энергии, выделяемой бомбардирующим ионом в объеме структуры, что стимулирует более эффективное развитие каскадов нелинейных столкновений в таком объеме и в итоге активизирует выход многоатомных кластерных ионов.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42674173

U2 - 10.31857/S1234567820080091

DO - 10.31857/S1234567820080091

M3 - статья

VL - 111

SP - 531

EP - 535

JO - Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики

JF - Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики

SN - 0370-274X

IS - 7-8 (4)

M1 - 20

ER -

ID: 27173207