Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич; Зарвин, Александр Евгеньевич; Каляда, Валерий Владимирович et al.
In: Вестник Новосибирского государственного университета. Серия: Физика, Vol. 7, No. 1, 10, 2012, p. 85-92.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Зарвин, Александр Евгеньевич
AU - Каляда, Валерий Владимирович
AU - Ходаков, Михаил Дмитриевич
N1 - Коробейщиков Н.Г., Зарвин А.Е., Каляда В.В., Ходаков М.Д. Формирование интенсивных кластерных пучков аргона для технологических процессов // Вестник Новосибирского государственного университета. Серия: Физика. - 2012. - Т. 7. - № 2. - С. 85-92
PY - 2012
Y1 - 2012
N2 - Произведена модернизация экспериментального комплекса ЛЭМПУС-1. Выполнены экспериментальные исследования формирования кластерных пучков аргона для создания технологического процесса ионно-кластерной модификации материалов. Получены кластерные пучки с интенсивностью до5 • 1014кластеров/см2• с при среднем размере кластеров1 300. Найдены оптимальные условия формирования кластерного молекулярного пучка.
AB - Произведена модернизация экспериментального комплекса ЛЭМПУС-1. Выполнены экспериментальные исследования формирования кластерных пучков аргона для создания технологического процесса ионно-кластерной модификации материалов. Получены кластерные пучки с интенсивностью до5 • 1014кластеров/см2• с при среднем размере кластеров1 300. Найдены оптимальные условия формирования кластерного молекулярного пучка.
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17782256
M3 - статья
VL - 7
SP - 85
EP - 92
JO - Вестник Новосибирского государственного университета. Серия: Физика
JF - Вестник Новосибирского государственного университета. Серия: Физика
SN - 1818-7994
IS - 1
M1 - 10
ER -
ID: 27287223