Поляризационный фильтр для эллипсометра миллиметрового диапазона спектра

Standard

Поляризационный фильтр для эллипсометра миллиметрового диапазона спектра. / Кузнецов, Сергей Александрович (Author); Федоринин, Виктор Николаевич (Author); Гельфанд, Александр Витальевич (Author).

Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Patent No.: 2838341. Apr 14, 2025.

Research output: Patent › Patent for invention

Author

Кузнецов, Сергей Александрович (Author) ; Федоринин, Виктор Николаевич (Author) ; Гельфанд, Александр Витальевич (Author). / Поляризационный фильтр для эллипсометра миллиметрового диапазона спектра. Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности. Patent No.: 2838341. Apr 14, 2025.

BibTeX

@misc{87b4e0fb98584de189ae5bac99aac37c,

title = "Поляризационный фильтр для эллипсометра миллиметрового диапазона спектра",

abstract = "Изобретение относится к области измерительной техники и касается поляризационного фильтра для эллипсометра. Поляризационный фильтр состоит из диска выполненного с возможностью вращения и содержащего четыре осе симметрично расположенных сектора. Микроструктура секторов выполнена в виде решетки электропроводящих полос, направление каждой полосы в секторе ориентировано под углами +45°, -45°, 90°, 0° по отношению к радиус-вектору проведенному из центра вращения к точке пересечения с полосой. Поляризационный фильтр выполнен с возможностью обеспечения при непрерывном вращении дискретного изменения азимута линейной поляризации излучения падающего на приемник излучения +45°, -45°, 90°, 0°. Технический результат изобретения заключается в повышении значения отношения сигнал/шум при измерении интенсивности поляризованного излучения.",

keywords = "ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ, ПОЛЯРИЗАТОР, ПОЛЯРИЗАЦИЯ, МИЛЛИМЕТРОВЫЕ ВОЛНЫ, ТЕРАГЕРЦОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ, МЕТАПОВЕРХНОСТЬ, СУБВОЛНОВАЯ РЕШЁТКА",

author = "Кузнецов, {Сергей Александрович} and Федоринин, {Виктор Николаевич} and Гельфанд, {Александр Витальевич}",

year = "2025",

month = apr,

day = "14",

language = "русский",

publisher = "Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "2838341",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Поляризационный фильтр для эллипсометра миллиметрового диапазона спектра

AU - Кузнецов, Сергей Александрович

AU - Федоринин, Виктор Николаевич

AU - Гельфанд, Александр Витальевич

PY - 2025/4/14

Y1 - 2025/4/14

N2 - Изобретение относится к области измерительной техники и касается поляризационного фильтра для эллипсометра. Поляризационный фильтр состоит из диска выполненного с возможностью вращения и содержащего четыре осе симметрично расположенных сектора. Микроструктура секторов выполнена в виде решетки электропроводящих полос, направление каждой полосы в секторе ориентировано под углами +45°, -45°, 90°, 0° по отношению к радиус-вектору проведенному из центра вращения к точке пересечения с полосой. Поляризационный фильтр выполнен с возможностью обеспечения при непрерывном вращении дискретного изменения азимута линейной поляризации излучения падающего на приемник излучения +45°, -45°, 90°, 0°. Технический результат изобретения заключается в повышении значения отношения сигнал/шум при измерении интенсивности поляризованного излучения.

AB - Изобретение относится к области измерительной техники и касается поляризационного фильтра для эллипсометра. Поляризационный фильтр состоит из диска выполненного с возможностью вращения и содержащего четыре осе симметрично расположенных сектора. Микроструктура секторов выполнена в виде решетки электропроводящих полос, направление каждой полосы в секторе ориентировано под углами +45°, -45°, 90°, 0° по отношению к радиус-вектору проведенному из центра вращения к точке пересечения с полосой. Поляризационный фильтр выполнен с возможностью обеспечения при непрерывном вращении дискретного изменения азимута линейной поляризации излучения падающего на приемник излучения +45°, -45°, 90°, 0°. Технический результат изобретения заключается в повышении значения отношения сигнал/шум при измерении интенсивности поляризованного излучения.

KW - ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

KW - ПОЛЯРИЗАТОР

KW - ПОЛЯРИЗАЦИЯ

KW - МИЛЛИМЕТРОВЫЕ ВОЛНЫ

KW - ТЕРАГЕРЦОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

KW - МЕТАПОВЕРХНОСТЬ

KW - СУБВОЛНОВАЯ РЕШЁТКА

M3 - патент на изобретение

M1 - 2838341

Y2 - 2024/10/31

PB - Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности

ER -

ID: 60761833