Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
Final published version
Final published version
| Original language | Russian |
|---|---|
| Title of host publication | Вакуумная техника и технологии - 2022 |
| Subtitle of host publication | Труды 29-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 21–23 июня 2022 года |
| Editors | Дмитрий Константинович Кострин, Сергей Александрович Марцынюков |
| Place of Publication | Санкт-Петербург |
| Publisher | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) |
| Pages | 179-182 |
| Number of pages | 4 |
| Publication status | Published - 2022 |
| Event | Вакуумная техника и технологии (ВТТ-2022): 29-я ВНТК с международ.участ. «Вакуумная техника и технологии (ВТТ-2022)» - Россия, Санкт-Петербург, Russian Federation Duration: 21 Jun 2022 → 23 Jun 2022 Conference number: 29 https://vtt.etu.ru/2022/ru/ |
| Conference | Вакуумная техника и технологии (ВТТ-2022) |
|---|---|
| Abbreviated title | ВТТ-2022 |
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Санкт-Петербург |
| Period | 21.06.2022 → 23.06.2022 |
| Internet address |
ID: 46203724