Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана. / Герасимова, Алина Константиновна; Воронковский, Виталий Александрович; Калмыков, Д. А. et al.
In: Оптика и спектроскопия, Vol. 133, No. 1, 2025, p. 57-64.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана
AU - Герасимова, Алина Константиновна
AU - Воронковский, Виталий Александрович
AU - Калмыков, Д. А.
AU - Алиев, Владимир Шакирович
AU - Володин, Владимир Алексеевич
AU - Демьяненко, Михаил Алексеевич
N1 - Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана / А. К. Герасимова, В. А. Воронковский, Д. А. Калмыков [и др.] // Оптика и спектроскопия. – 2025. – Т. 133, № 1. – С. 57-64. – DOI 10.61011/OS.2025.01.59880.7201-24. – EDN QAOQCJ. Работа была поддержана грантом Российского научного фонда, проект N 24-29-00344.
PY - 2025
Y1 - 2025
N2 - Исследованы оптические свойства нестехиометрических оксидов титана TiO2-δ с различным отклонением от стехиометрии δ. Пленки синтезированы методом ионно-лучевого распыления-осаждения. Состав пленок определен методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлена взаимосвязь оптических параметров (n,k) пленок с параметром δ. Обнаружено, что отжиг пленок состава δ~0.58±0.02 при температурах 350-600oС приводит к существенному возрастанию поглощения в терагерцовой области спектра из-за роста в пленках (по данным сканирующей электронной микроскопии) кристаллов пластинчатой формы микронных размеров.
AB - Исследованы оптические свойства нестехиометрических оксидов титана TiO2-δ с различным отклонением от стехиометрии δ. Пленки синтезированы методом ионно-лучевого распыления-осаждения. Состав пленок определен методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлена взаимосвязь оптических параметров (n,k) пленок с параметром δ. Обнаружено, что отжиг пленок состава δ~0.58±0.02 при температурах 350-600oС приводит к существенному возрастанию поглощения в терагерцовой области спектра из-за роста в пленках (по данным сканирующей электронной микроскопии) кристаллов пластинчатой формы микронных размеров.
KW - ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
KW - НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЕ ОКСИДЫ ТИТАНА
KW - РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
KW - СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
KW - ОПТИЧЕСКИЕ ПОТЕРИ
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=80598011
U2 - 10.61011/OS.2025.01.59880.7201-24
DO - 10.61011/OS.2025.01.59880.7201-24
M3 - статья
VL - 133
SP - 57
EP - 64
JO - Оптика и спектроскопия
JF - Оптика и спектроскопия
SN - 0030-4034
IS - 1
ER -
ID: 74366332