Standard

Инварианты коэффициента отражения. / Федюхин, Леонид Анатольевич; Горчаков, Александр Всеволодович; Колосовский, Е.А.

In: Оптика и спектроскопия, Vol. 128, No. 2, 20, 2020, p. 266-271.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Федюхин, ЛА, Горчаков, АВ & Колосовский, ЕА 2020, 'Инварианты коэффициента отражения', Оптика и спектроскопия, vol. 128, no. 2, 20, pp. 266-271. https://doi.org/10.21883/OS.2020.02.48975.219-19

APA

Федюхин, Л. А., Горчаков, А. В., & Колосовский, Е. А. (2020). Инварианты коэффициента отражения. Оптика и спектроскопия, 128(2), 266-271. [20]. https://doi.org/10.21883/OS.2020.02.48975.219-19

Vancouver

Федюхин ЛА, Горчаков АВ, Колосовский ЕА. Инварианты коэффициента отражения. Оптика и спектроскопия. 2020;128(2):266-271. 20. doi: 10.21883/OS.2020.02.48975.219-19

Author

Федюхин, Леонид Анатольевич ; Горчаков, Александр Всеволодович ; Колосовский, Е.А. / Инварианты коэффициента отражения. In: Оптика и спектроскопия. 2020 ; Vol. 128, No. 2. pp. 266-271.

BibTeX

@article{42e9ac77eb92489d956b66205802c5f8,
title = "Инварианты коэффициента отражения",
abstract = "Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.",
author = "Федюхин, {Леонид Анатольевич} and Горчаков, {Александр Всеволодович} and Е.А. Колосовский",
note = "Федюхин Л.А., Горчаков А.В., Колосовский Е.А. Инварианты коэффициента отражения // Оптика и спектроскопия. - 2020. - Т. 128. - № 2. - С. 266-271",
year = "2020",
doi = "10.21883/OS.2020.02.48975.219-19",
language = "русский",
volume = "128",
pages = "266--271",
journal = "Оптика и спектроскопия",
issn = "0030-4034",
publisher = "Leningradskoe otdelenie",
number = "2",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Инварианты коэффициента отражения

AU - Федюхин, Леонид Анатольевич

AU - Горчаков, Александр Всеволодович

AU - Колосовский, Е.А.

N1 - Федюхин Л.А., Горчаков А.В., Колосовский Е.А. Инварианты коэффициента отражения // Оптика и спектроскопия. - 2020. - Т. 128. - № 2. - С. 266-271

PY - 2020

Y1 - 2020

N2 - Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.

AB - Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42744864

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/06e26984-6fbf-3f36-a992-48bc5850af46/

U2 - 10.21883/OS.2020.02.48975.219-19

DO - 10.21883/OS.2020.02.48975.219-19

M3 - статья

VL - 128

SP - 266

EP - 271

JO - Оптика и спектроскопия

JF - Оптика и спектроскопия

SN - 0030-4034

IS - 2

M1 - 20

ER -

ID: 27226254