DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110409
Число страниц9
ЖурналVacuum
Том191
DOI
СостояниеОпубликовано - сент. 2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34691987