DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110590
ЖурналVacuum
Том194
DOI
СостояниеОпубликовано - дек. 2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34256078