DOI

Язык оригиналаанглийский
Название основной публикацииApplied Optical Metrology IV
РедакторыErik Novak, James D. Trolinger, Christopher C. Wilcox
ИздательThe International Society for Optical Engineering
Страницы24
ISBN (электронное издание)9781510644724
ISBN (печатное издание)9781510644724
DOI
СостояниеОпубликовано - 2021
СобытиеApplied Optical Metrology IV 2021 - San Diego, Соединенные Штаты Америки
Продолжительность: 1 авг. 20215 авг. 2021

Серия публикаций

НазваниеProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том11817
ISSN (печатное издание)0277-786X
ISSN (электронное издание)1996-756X

Конференция

КонференцияApplied Optical Metrology IV 2021
Страна/TерриторияСоединенные Штаты Америки
ГородSan Diego
Период01.08.202105.08.2021

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34339507