Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Название основной публикации | Applied Optical Metrology IV |
| Редакторы | Erik Novak, James D. Trolinger, Christopher C. Wilcox |
| Издатель | SPIE |
| ISBN (электронное издание) | 9781510644724 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2021 |
| Событие | Applied Optical Metrology IV 2021 - San Diego, Соединенные Штаты Америки Продолжительность: 1 авг. 2021 → 5 авг. 2021 |
| Название | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
|---|---|
| Том | 11817 |
| ISSN (печатное издание) | 0277-786X |
| ISSN (электронное издание) | 1996-756X |
| Конференция | Applied Optical Metrology IV 2021 |
|---|---|
| Страна/Tерритория | Соединенные Штаты Америки |
| Город | San Diego |
| Период | 01.08.2021 → 05.08.2021 |
ID: 34339507