DOI

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)3059-3068
Число страниц10
ЖурналJournal of Electronic Materials
Том48
Номер выпуска5
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв. 2019

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 18622400