Chistokhin, I. B., 
Aksenov, M. S., 
Valisheva, N. A., 
Dmitriev, D. V., 
Kovchavtsev, A. P., 
Gutakovskii, A. K., 
Prosvirin, I. P. & 
Zhuravlev, K. S., 
1 февр. 2018, 
в: Materials Science in Semiconductor Processing. 74, 
стр. 193-198 6 стр.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование