Chistokhin, I. B.,
Aksenov, M. S.,
Valisheva, N. A.,
Dmitriev, D. V.,
Kovchavtsev, A. P.,
Gutakovskii, A. K.,
Prosvirin, I. P. &
Zhuravlev, K. S.,
1 февр. 2018,
в: Materials Science in Semiconductor Processing. 74,
стр. 193-198 6 стр.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование