Шмаков, А. А.,
Коробейщиков, Н. Г.,
Каляда, В. В.,
Пеньков, О. И. &
Зарвин, А. Е.,
июн. 2015,
Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. Рудяк, В. Я. (ред.). Новосибирск,
Том 2.
стр. 174-176 3 стр.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование