Features of formation of gas cluster ion beams › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.05.039
Конечная издательская версия

N. G. Korobeishchikov
V. V. Kalyada
P. A. Skovorodko
A. A. Shmakov
M. D. Khodakov
G. I. Shulzhenko
R. V. Voskoboynikov
A. E. Zarvin

Язык оригинала	английский
Страницы (с-по)	256-263
Число страниц	8
Журнал	Vacuum
Том	119
DOI	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.05.039
Состояние	Опубликовано - 15 июн. 2015

Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 27326360