Dostovalov, A. V.,
Korolkov, V. P.,
Terentiev, V. S.,
Okotrub, K. A.,
Dultsev, F. N.,
Nemykin, A. &
Babin, S. A.,
1 янв. 2017,
Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XI. Klotzbach, U., Washio, K. & Kling, R. (ред.).
SPIE,
Том 10092.
9 стр. 100921H. (Proceedings of SPIE; том 10092).
Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование