Dostovalov, A. V.,
Wolf, A. A.,
Zlobina, E. A.,
Kablukov, S. I. &
Babin, S. A.,
1 янв. 2017,
Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII. Neuenschwander, B., Grigoropoulos, CP., Makimura, T. & Raciukaitis, G. (ред.).
SPIE,
Том 10091.
6 стр. 100910G. (Proceedings of SPIE; том 10091).
Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование