DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи112929
Число страниц11
ЖурналVacuum
Том221
DOI
СостояниеОпубликовано - мар. 2024

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 59390605