Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 085003 |
| Журнал | Semiconductor Science and Technology |
| Том | 38 |
| Номер выпуска | 8 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - авг. 2023 |
| Опубликовано для внешнего пользования | Да |
ID: 59263399