DOI

  • A. V. Fedoseev
  • N. A. Demin
  • S. Z. Sakhapov
  • A. V. Zaikovskii
  • D. V. Smovzh
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012017
Число страниц7
ЖурналJournal of Physics: Conference Series
Том1243
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 7 июн. 2019
Опубликовано для внешнего пользованияДа
Событие15th High-Tech Plasma Processes Conference, HTPP 2018 - Toulouse, Франция
Продолжительность: 2 июл. 20186 июл. 2018

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 27437384