DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи111651
ЖурналVacuum
Том207
DOI
СостояниеОпубликовано - янв. 2023

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 39806906