DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи012012
Число страниц5
ЖурналIOP Conference Series: Materials Science and Engineering
Том387
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 17 июл. 2018
Событие25th International Conference on Vacuum Technique and Technology - St. Petersburg, Российская Федерация
Продолжительность: 5 июн. 20187 июн. 2018

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 16072027