Ссылки

DOI

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)114004
ЖурналPlasma Sources Science and Technology
Том31
Номер выпуска11
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 нояб. 2022
Опубликовано для внешнего пользованияДа

    Предметные области OECD FOS+WOS

ID: 65201881