DOI

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи111713
ЖурналVacuum
Том208
DOI
СостояниеОпубликовано - февр. 2023

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 40867336