Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 193-198 |
| Число страниц | 6 |
| Журнал | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Том | 74 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 февр. 2018 |
ID: 9161139