DOI

  • Dmitry V. Smovzh
  • Salavat Z. Sakhapov
  • Alexey V. Zaikovskii
  • Evgeny V. Boyko
  • Olga A. Solnyshkina
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи110802
ЖурналVacuum
Том196
DOI
СостояниеОпубликовано - февр. 2022

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ID: 34951890