Standard

Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона. / Харитонов, Сергей Иванович; Павельев, Владимир Сергеевич; Казанский, Николай Львович и др.

в: Computer Optics, Том 47, № 1, 8, 2023, стр. 62-67.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Harvard

Харитонов, СИ, Павельев, ВС, Казанский, НЛ, Стрелков, ЮС, Тукмаков, КН, Решетников, АС, Ганчевская, СВ, Gerasimov, VV & Knyazev, BA 2023, 'Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона', Computer Optics, Том. 47, № 1, 8, стр. 62-67. https://doi.org/10.18287/2412-6179-CO-1194

APA

Харитонов, С. И., Павельев, В. С., Казанский, Н. Л., Стрелков, Ю. С., Тукмаков, К. Н., Решетников, А. С., Ганчевская, С. В., Gerasimov, V. V., & Knyazev, B. A. (2023). Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона. Computer Optics, 47(1), 62-67. [8]. https://doi.org/10.18287/2412-6179-CO-1194

Vancouver

Харитонов СИ, Павельев ВС, Казанский НЛ, Стрелков ЮС, Тукмаков КН, Решетников АС и др. Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона. Computer Optics. 2023;47(1):62-67. 8. doi: 10.18287/2412-6179-CO-1194

Author

Харитонов, Сергей Иванович ; Павельев, Владимир Сергеевич ; Казанский, Николай Львович и др. / Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона. в: Computer Optics. 2023 ; Том 47, № 1. стр. 62-67.

BibTeX

@article{eacd52322dd44728a40df98da3ad2cc8,
title = "Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона",
abstract = "Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием f = 300 мм для длины волны λ = 141 мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло π /6. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила e = 70 %. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки.",
keywords = "binary lens, diffractive optical ele-ments, subwavelength microrelief, terahertz radiation",
author = "Харитонов, {Сергей Иванович} and Павельев, {Владимир Сергеевич} and Казанский, {Николай Львович} and Стрелков, {Юрий Станиславович} and Тукмаков, {Константин Николаевич} and Решетников, {Антон Сергеевич} and Ганчевская, {София Владиславовна} and Gerasimov, {V. V.} and Knyazev, {B. A.}",
note = "Харитонов С.И., Павельев В.С., Казанский Н.Л., Стрелков Ю.С., Тукмаков К.Н., Решетников А.С., Ганчевская С.В., Герасимов В.В., Князев Б.А. Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47. - № 1. – С. 62-67. Благодарности: Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-20202) на уникальной установке «Новосибирский лазер на свободных электронах» с использованием оборудования «Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения».",
year = "2023",
doi = "10.18287/2412-6179-CO-1194",
language = "русский",
volume = "47",
pages = "62--67",
journal = "Computer Optics",
issn = "0134-2452",
publisher = "Institution of Russian Academy of Sciences, Image Processing Systems Institute of RAS",
number = "1",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона

AU - Харитонов, Сергей Иванович

AU - Павельев, Владимир Сергеевич

AU - Казанский, Николай Львович

AU - Стрелков, Юрий Станиславович

AU - Тукмаков, Константин Николаевич

AU - Решетников, Антон Сергеевич

AU - Ганчевская, София Владиславовна

AU - Gerasimov, V. V.

AU - Knyazev, B. A.

N1 - Харитонов С.И., Павельев В.С., Казанский Н.Л., Стрелков Ю.С., Тукмаков К.Н., Решетников А.С., Ганчевская С.В., Герасимов В.В., Князев Б.А. Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47. - № 1. – С. 62-67. Благодарности: Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-20202) на уникальной установке «Новосибирский лазер на свободных электронах» с использованием оборудования «Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения».

PY - 2023

Y1 - 2023

N2 - Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием f = 300 мм для длины волны λ = 141 мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло π /6. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила e = 70 %. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки.

AB - Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием f = 300 мм для длины волны λ = 141 мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло π /6. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила e = 70 %. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки.

KW - binary lens

KW - diffractive optical ele-ments

KW - subwavelength microrelief

KW - terahertz radiation

UR - https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85144248066&partnerID=40&md5=d25ceed0de69079160c54570eab5420d

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50081608

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/71646c78-354a-367a-bb72-f7361015baaa/

U2 - 10.18287/2412-6179-CO-1194

DO - 10.18287/2412-6179-CO-1194

M3 - статья

VL - 47

SP - 62

EP - 67

JO - Computer Optics

JF - Computer Optics

SN - 0134-2452

IS - 1

M1 - 8

ER -

ID: 48787237