Язык оригиналарусский
Номер патента74
Дата приоритета22.12.2022
СостояниеОпубликовано - 22 дек. 2022

    Области исследований

  • КАРБИД КРЕМНИЯ, КРЕМНИЙ, СИНТЕЗ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, ПИРОЛИЗ, РЕАКТОР ХИМИЧЕСКОГО СЖАТИЯ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОМАТЕРИАЛЫ, ЦИКЛИЧЕСКИЙ ПРОТОЧНЫЙ МЕТОД ПИРОЛИЗА, НАНОРАЗМЕРНЫЕ КРИСТАЛЛИТЫ

    ГРНТИ

  • 47.09.48 Наноматериалы для электроники
  • 31.15.27 Кинетика. Гомогенный катализ. Горение. Взрывы
  • 30.51.31 Движение жидкостей и газов в пористых средах

ID: 42220683