TY - PAT

T1 - Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии

AU - Азаров, Иван Алексеевич

PY - 2022/12/20

Y1 - 2022/12/20

N2 - Программа предназначена для моделирования слоистых отражающих структур, расчёта изменения поляризации и восстановления параметров структур по экспериментальным данным метода эллипсометрии. Вычисление спектров отражения проводится матричным методом для двух компонент поляризации волны, данные представляются в виде спектров эллипсометрических углов Ψ и Δ. Отражающая структура может содержать произвольное число слоёв, данные об оптических константах которых загружаются из баз данных в текстовом формате. Неизвестные параметры слоёв восстанавливаются численным решением обратной задачи эллипсометрии. Программа выполнена с применением оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. OC: Windows 10.

AB - Программа предназначена для моделирования слоистых отражающих структур, расчёта изменения поляризации и восстановления параметров структур по экспериментальным данным метода эллипсометрии. Вычисление спектров отражения проводится матричным методом для двух компонент поляризации волны, данные представляются в виде спектров эллипсометрических углов Ψ и Δ. Отражающая структура может содержать произвольное число слоёв, данные об оптических константах которых загружаются из баз данных в текстовом формате. Неизвестные параметры слоёв восстанавливаются численным решением обратной задачи эллипсометрии. Программа выполнена с применением оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. OC: Windows 10.

KW - ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

KW - ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ

KW - ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЛНА

KW - ДИСПЕРСИЯ

KW - ПОГЛОЩЕНИЕ

KW - ОТРАЖЕНИЕ

KW - СВЕТ

KW - ПОЛЯРИЗАЦИЯ

KW - ПРЕЛОМЛЕНИЕ

KW - СЛОИСТАЯ СТРУКТУРА

M3 - свидетельство о регистрации программы для ЭВМ

M1 - 2022685005

PB - Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности

ER -