1. 2017
  2. Focus Probe Technique for Edge Detection and Linewidth Measurement of Microstructures with Nanometer Resolution

    Fan, K. C., Lin, C. D., Li, R., Chen, L. C. & Chugui, Y., 1 июн. 2017, в: Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers, Transactions of the Chinese Institute of Engineers, Series C/Chung-Kuo Chi Hsueh Kung Ch'eng Hsuebo Pao. 38, 3, стр. 253-260 8 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. 2016
  4. Calculation of the object edge position after its projection in a spatially noninvariant coherent optical system

    Chugui, Y. V., 1 нояб. 2016, в: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 52, 6, стр. 570-579 10 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  5. 2015
  6. 3D image formation in transmitted partially coherent and incoherent light applied to dimensional inspection

    Chugui, Y. V. & Senchenko, E. S., 1 сент. 2015, в: International Journal of Automation Technology. 9, 5, стр. 508-514 7 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  7. Optical measuring and laser technologies for scientific and industrial applications

    Chugui, Y. V., Verkhoglyad, A. G., Zavyalov, P. S., Sysoev, E. V., Kulikov, R. V., Vykhristyuk, I. A., Zavyalova, M. A., Poleshchuk, A. G. & Korolkov, V. P., 1 сент. 2015, в: International Journal of Automation Technology. 9, 5, стр. 515-524 10 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  8. Three-dimensional optoelectronic measurement systems and laser technologies for scientific and industrial applications

    Chugui, Y. V., 1 июл. 2015, в: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 51, 4, стр. 385-397 13 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  9. Correction of scanning steps to improve accuracy in interferometric profilometer

    Sysoev, E., Kulikov, R., Vykhristyuk, I. & Chugui, Y., 1 февр. 2015, в: Measurement Science Review. 15, 1, стр. 9-12 4 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 3436535