1. Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions

    Korobeishchikov, N., Geydt, P., Nikolaev, I., Strunin, V. & Roenko, M., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 722-725 4 стр. 9242187. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

  2. Accelerated cluster ion beams for materials processing: XXXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XXXI). Granada, Spain. 14-19 July 2013. Proceedings. PS2-095.

    Korobeishchikov, N. G., Kalyada, V. V., Zarvin, A. E. & Shmakov, A. A., 2013.

    Результаты исследований: Материалы конференцийматериалыРецензирование

Назад 1...11 12 13 14 15 Далее

ID: 3458050