Алина Витальевна Лапега - Участник

Стендовый доклад: "Исследование морфологии поверхности тонких плёнок AlN методом АСМ",
секция №3 "Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография",
17.09.2021г.
13 сент. 2021 → 17 сент. 2021

Объединённая конференция «Электронно- лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»

Сокращенное названиеКЭЛТ-2021
Продолжительность13 сент. 2021 → 17 сент. 2021
МестоположениеФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН)
ГородЧерноголовка
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
Электронный адрес (URL)
Уровень известностиГосударственное мероприятие

Событие: Конференция

Ссылки

ID: 35297847