Кабов, О. А.,
Чеверда, В. В.,
Быковская, Е. Ф. &
Сибиряков, Н. Е.,
17 Sept 2021, IPC No. H01L23/473, H05K7/20, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2755608, Priority date
18 Dec 2020, Priority No. 2020142120
Research output: Patent › Patent for invention