Naumova, O. V.,
Generalov, V. M.,
Zaitseva, E. G.,
Latyshev, A. V.,
Aseev, A. L.,
Pyankov, S. A.,
Kolosova, I. V.,
Ananko, G. G.,
Agafonov, A. P.,
Gavrilova, E. V.,
Maksyutov, R. A. &
Safatov, A. S.,
May 2021,
In: Russian Microelectronics. 50,
3,
p. 137-145 9 p.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review