Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера

Standard

Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера. / Utkin, Dmitry ; Царев, Андрей Владимирович; Уткин, Евгений Николаевич et al.

In: Автометрия, Vol. 57 , No. 5, 7, 11.2021, p. 58-69.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{dd0c59c00e8c46d991b495d750b1b037,

title = "Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера",

abstract = "Исследованы антиотражающие свойства покрытий из диэлектрических частиц SiGe субволнового размера, выращенных на подложках Si(100) c использованием эффекта несмачиваемости Si слоями SiGe. Средний размер частиц задавался количеством осаждённого Ge и варьировался в диапазоне от 0,2 до 1,4 мкм. Изучаемое возбуждение магнитных и электрических резонансов в диэлектрических частицах SiGe приводило к уменьшению отражения приблизительно на 60 % в зависимости от среднего размера частиц по сравнению с отражением поверхности Si, не покрытой частицами. Распределение частиц по размеру обеспечило получение антиотражающих свойств в широком спектральном диапазоне, в котором частицы меньшего размера создавали более сильный антиотражающий эффект по сравнению с частицами большего размера. Модельные расчёты показали, что для частиц, расположенных на подложке, эффективность возбуждения магнитных и электрических резонансов имеет сильную зависимость от отношения высоты частиц к размеру их основания.",

keywords = "МЕТАПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ SIGE НА SI, РЕЗОНАНСЫ МИ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ СВОЙСТВА, ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, МЕТОД FDTD",

author = "Dmitry Utkin and Царев, {Андрей Владимирович} and Уткин, {Евгений Николаевич} and Латышев, {Александр Васильевич} and Шкляев, {Александр Андреевич}",

note = "Уткин Д.Е., Царев А.В., Уткин Е.Н., Латышев А.В., Шкляев А.А. Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера // Автометрия. – 2021. – Т. 57. – № 5. – С. 58-69. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-30023). Эксперименты проводились с использованием оборудования центров коллективного пользования «Наноструктуры» ИФП СО РАН и «Высокие технологии и аналитика наносистем» НГУ.",

year = "2021",

month = nov,

doi = "10.15372/AUT20210507",

language = "русский",

volume = "57 ",

pages = "58--69",

journal = "Автометрия",

issn = "0320-7102",

publisher = "ФГУП {"}Издательство СО РАН{"}",

number = "5",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера

AU - Utkin, Dmitry

AU - Царев, Андрей Владимирович

AU - Уткин, Евгений Николаевич

AU - Латышев, Александр Васильевич

AU - Шкляев, Александр Андреевич

N1 - Уткин Д.Е., Царев А.В., Уткин Е.Н., Латышев А.В., Шкляев А.А. Широкополосные просветляющие покрытия из частиц SiGe субволнового размера // Автометрия. – 2021. – Т. 57. – № 5. – С. 58-69. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-30023). Эксперименты проводились с использованием оборудования центров коллективного пользования «Наноструктуры» ИФП СО РАН и «Высокие технологии и аналитика наносистем» НГУ.

PY - 2021/11

Y1 - 2021/11

N2 - Исследованы антиотражающие свойства покрытий из диэлектрических частиц SiGe субволнового размера, выращенных на подложках Si(100) c использованием эффекта несмачиваемости Si слоями SiGe. Средний размер частиц задавался количеством осаждённого Ge и варьировался в диапазоне от 0,2 до 1,4 мкм. Изучаемое возбуждение магнитных и электрических резонансов в диэлектрических частицах SiGe приводило к уменьшению отражения приблизительно на 60 % в зависимости от среднего размера частиц по сравнению с отражением поверхности Si, не покрытой частицами. Распределение частиц по размеру обеспечило получение антиотражающих свойств в широком спектральном диапазоне, в котором частицы меньшего размера создавали более сильный антиотражающий эффект по сравнению с частицами большего размера. Модельные расчёты показали, что для частиц, расположенных на подложке, эффективность возбуждения магнитных и электрических резонансов имеет сильную зависимость от отношения высоты частиц к размеру их основания.

AB - Исследованы антиотражающие свойства покрытий из диэлектрических частиц SiGe субволнового размера, выращенных на подложках Si(100) c использованием эффекта несмачиваемости Si слоями SiGe. Средний размер частиц задавался количеством осаждённого Ge и варьировался в диапазоне от 0,2 до 1,4 мкм. Изучаемое возбуждение магнитных и электрических резонансов в диэлектрических частицах SiGe приводило к уменьшению отражения приблизительно на 60 % в зависимости от среднего размера частиц по сравнению с отражением поверхности Si, не покрытой частицами. Распределение частиц по размеру обеспечило получение антиотражающих свойств в широком спектральном диапазоне, в котором частицы меньшего размера создавали более сильный антиотражающий эффект по сравнению с частицами большего размера. Модельные расчёты показали, что для частиц, расположенных на подложке, эффективность возбуждения магнитных и электрических резонансов имеет сильную зависимость от отношения высоты частиц к размеру их основания.

KW - МЕТАПОКРЫТИЯ

KW - ЧАСТИЦЫ SIGE НА SI

KW - РЕЗОНАНСЫ МИ

KW - АНТИОТРАЖАЮЩИЕ СВОЙСТВА

KW - ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

KW - МЕТОД FDTD

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=47246789

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/a01b263a-ab45-3926-8385-e038e5bb330a/

U2 - 10.15372/AUT20210507

DO - 10.15372/AUT20210507

M3 - статья

VL - 57

SP - 58

EP - 69

JO - Автометрия

JF - Автометрия

SN - 0320-7102

IS - 5

M1 - 7

ER -

ID: 34979022