TY - JOUR

T1 - Дифракционные явления на протяжённой асимметричной щели c абсолютно поглощающими внутренними гранями

AU - Чугуй, Юрий Васильевич

N1 - Чугуй Ю.В. Дифракционные явления на протяжённой асимметричной щели c абсолютно поглощающими внутренними гранями // Автометрия. – 2022. – Т. 58. - № 1. – С. 54-67. Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ (государственная регистрация № АААА-А17-117121270018-3).

PY - 2022

Y1 - 2022

N2 - На основе модели эквивалентных диафрагм рассчитаны в дальней зоне дифракционные картины Фраунгофера (спектры) протяжённых (по глубине) асимметричных отверстий щелевого типа с абсолютно поглощающими внутренними гранями и с различными входными (D) и выходными (D1) апертурами. Изучено в аналитическом виде поведение спектра протяжённого объекта в случае отличий апертур 2|∆| = |D1 - D|, заметно меньших размера зоны Френеля δd = √λ d (λ - длина волны света, d - глубина отверстия). Показано, что в диапазоне углов | θ | << θкр = √λ/d наблюдаемая дифракционная картина протяжённого объекта эквивалентна дифракции света на плоской щели (d = 0) с эффективной шириной Dэфф = D + ∆ - θd/(Ö2π). На основе конструктивной аппроксимации интегральной функции Френеля изучены в аналитическом виде особенности дифракции света на объёмных отверстиях, апертуры которых заметно отличаются друг от друга: 2|Δ| >> δd. Расчётами показано, что в случаях расширяющихся (D1 > D) и суживающихся (D1 < D) апертур поведение минимумов наблюдаемых дифракционных картин в диапазонах углов |θ| < |θ∆|= |Δ|/ d мало отличается от эквидистантного для плоской щели (d = 0) с ширинами D и D1 соответственно. Полученные результаты могут быть использованы при разработке оптико-электронных систем размерного контроля пластин с отверстиями.

AB - На основе модели эквивалентных диафрагм рассчитаны в дальней зоне дифракционные картины Фраунгофера (спектры) протяжённых (по глубине) асимметричных отверстий щелевого типа с абсолютно поглощающими внутренними гранями и с различными входными (D) и выходными (D1) апертурами. Изучено в аналитическом виде поведение спектра протяжённого объекта в случае отличий апертур 2|∆| = |D1 - D|, заметно меньших размера зоны Френеля δd = √λ d (λ - длина волны света, d - глубина отверстия). Показано, что в диапазоне углов | θ | << θкр = √λ/d наблюдаемая дифракционная картина протяжённого объекта эквивалентна дифракции света на плоской щели (d = 0) с эффективной шириной Dэфф = D + ∆ - θd/(Ö2π). На основе конструктивной аппроксимации интегральной функции Френеля изучены в аналитическом виде особенности дифракции света на объёмных отверстиях, апертуры которых заметно отличаются друг от друга: 2|Δ| >> δd. Расчётами показано, что в случаях расширяющихся (D1 > D) и суживающихся (D1 < D) апертур поведение минимумов наблюдаемых дифракционных картин в диапазонах углов |θ| < |θ∆|= |Δ|/ d мало отличается от эквидистантного для плоской щели (d = 0) с ширинами D и D1 соответственно. Полученные результаты могут быть использованы при разработке оптико-электронных систем размерного контроля пластин с отверстиями.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48084462

UR - https://www.mendeley.com/catalogue/5d4dd61e-8ecd-3eb3-a59f-b01ca178965b/

U2 - 10.15372/AUT20220107

DO - 10.15372/AUT20220107

M3 - статья

VL - 58

SP - 54

EP - 67

JO - Автометрия

JF - Автометрия

SN - 0320-7102

IS - 1

M1 - 7

ER -