Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III)

Standard

Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III). / Рихтер, Эрик Алексеюсович; Варваринская, Софья Егоровна; Сысоев, С. В. et al.

In: Журнал физической химии, Vol. 99, No. 6, 2025, p. 895-900.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Author

Рихтер, Эрик Алексеюсович ; Варваринская, Софья Егоровна ; Сысоев, С. В. et al. / Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III). In: Журнал физической химии. 2025 ; Vol. 99, No. 6. pp. 895-900.

BibTeX

@article{5bcf54c7bd724ce0be6bbbb6d6b578c3,

title = "Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III)",

abstract = "Выполнено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся при разложении летучего прекурсора Fe(асас)3, ацетилацетоната железа (III), в зависимости от условий (температура, общее давление, количество добавляемого кислорода). Проведен отбор и обработка исходных термодинамических данных для газообразного и кристаллического Fe(асас)3 (энтальпия и энтропия образования, температурные зависимости теплоемкости) и для процесса его сублимации. Показано, что введение набора согласованных данных о прекурсоре не влияет на результаты моделирования, т. е. исходное вещество термодинамически нестабильно в равновесии с возможными компонентами газовой фазы и усложнение модели расчетов нецелесообразно. Полученные диаграммы могут быть полезны для оптимизации процессов химического газофазного осаждения материалов, содержащих фазы оксидов или карбида железа.",

keywords = "АЦЕТИЛАЦЕТОНАТ ЖЕЛЕЗА(III), ОКСИДЫ ЖЕЛЕЗА, КАРБИДЫ ЖЕЛЕЗА, ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, ХИМИЧЕСКОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ",

author = "Рихтер, {Эрик Алексеюсович} and Варваринская, {Софья Егоровна} and Сысоев, {С. В.} and Беспятов, {М. А.} and Викулова, {Евгения Сергеевна} and Гельфонд, {Н. В.}",

note = "Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III) / Э. А. Рихтер, С. Е. Варваринская, С. В. Сысоев [и др.] // Журнал физической химии. – 2025. – Т. 99, № 6. – С. 895-900. – DOI 10.31857/S0044453725060092. – EDN HHKNRR.",

year = "2025",

doi = "10.31857/S0044453725060092",

language = "русский",

volume = "99",

pages = "895--900",

journal = "Журнал физической химии",

issn = "0044-4537",

publisher = "Федеральное государственное бюджетное учреждение {"}Российская академия наук{"}",

number = "6",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III)

AU - Рихтер, Эрик Алексеюсович

AU - Варваринская, Софья Егоровна

AU - Сысоев, С. В.

AU - Беспятов, М. А.

AU - Викулова, Евгения Сергеевна

AU - Гельфонд, Н. В.

N1 - Термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз при разложении ацетилацетоната железа(III) / Э. А. Рихтер, С. Е. Варваринская, С. В. Сысоев [и др.] // Журнал физической химии. – 2025. – Т. 99, № 6. – С. 895-900. – DOI 10.31857/S0044453725060092. – EDN HHKNRR.

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - Выполнено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся при разложении летучего прекурсора Fe(асас)3, ацетилацетоната железа (III), в зависимости от условий (температура, общее давление, количество добавляемого кислорода). Проведен отбор и обработка исходных термодинамических данных для газообразного и кристаллического Fe(асас)3 (энтальпия и энтропия образования, температурные зависимости теплоемкости) и для процесса его сублимации. Показано, что введение набора согласованных данных о прекурсоре не влияет на результаты моделирования, т. е. исходное вещество термодинамически нестабильно в равновесии с возможными компонентами газовой фазы и усложнение модели расчетов нецелесообразно. Полученные диаграммы могут быть полезны для оптимизации процессов химического газофазного осаждения материалов, содержащих фазы оксидов или карбида железа.

AB - Выполнено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся при разложении летучего прекурсора Fe(асас)3, ацетилацетоната железа (III), в зависимости от условий (температура, общее давление, количество добавляемого кислорода). Проведен отбор и обработка исходных термодинамических данных для газообразного и кристаллического Fe(асас)3 (энтальпия и энтропия образования, температурные зависимости теплоемкости) и для процесса его сублимации. Показано, что введение набора согласованных данных о прекурсоре не влияет на результаты моделирования, т. е. исходное вещество термодинамически нестабильно в равновесии с возможными компонентами газовой фазы и усложнение модели расчетов нецелесообразно. Полученные диаграммы могут быть полезны для оптимизации процессов химического газофазного осаждения материалов, содержащих фазы оксидов или карбида железа.

KW - АЦЕТИЛАЦЕТОНАТ ЖЕЛЕЗА(III)

KW - ОКСИДЫ ЖЕЛЕЗА

KW - КАРБИДЫ ЖЕЛЕЗА

KW - ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

KW - ХИМИЧЕСКОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=82783612

U2 - 10.31857/S0044453725060092

DO - 10.31857/S0044453725060092

M3 - статья

VL - 99

SP - 895

EP - 900

JO - Журнал физической химии

JF - Журнал физической химии

SN - 0044-4537

IS - 6

ER -

ID: 74578433