TY - PAT

T1 - База данных оптических констант материалов для спектральной эллипсометрии

AU - Азаров, Иван Алексеевич

PY - 2023/1/20

Y1 - 2023/1/20

N2 - База данных содержит оптические константы различных материалов в структурированных текстовых файлах. Каждый файл назван в соответствии с химической формулой или названием материала. В файле указано название базы данных «Database of optical constants for spectral ellipsometry», источник данных и таблица числовых значений с оптическими константами. Значения оптических констант для различных длин волн необходимы при моделировании спектров пропускания, отражения, в том числе поляризованного света для метода эллипсометрии. Расширение текстовых файлов «.el» позволяет использовать их в программах моделирования «Spectr» и «SpectroEllips». Разработка выполнена в ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. Тип ЭВМ: IBM РС-совмест. ПК; ОС: Windows 10.

AB - База данных содержит оптические константы различных материалов в структурированных текстовых файлах. Каждый файл назван в соответствии с химической формулой или названием материала. В файле указано название базы данных «Database of optical constants for spectral ellipsometry», источник данных и таблица числовых значений с оптическими константами. Значения оптических констант для различных длин волн необходимы при моделировании спектров пропускания, отражения, в том числе поляризованного света для метода эллипсометрии. Расширение текстовых файлов «.el» позволяет использовать их в программах моделирования «Spectr» и «SpectroEllips». Разработка выполнена в ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. Тип ЭВМ: IBM РС-совмест. ПК; ОС: Windows 10.

KW - ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ

KW - ДИСПЕРСИЯ

KW - ПОГЛОЩЕНИЕ

KW - ПРЕЛОМЛЕНИЕ

KW - СЛОИСТАЯ СТРУКТУРА

M3 - свидетельство о регистрации БД

M1 - 2023620328

PB - Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности

ER -