1. Синтез титаносодержащих пленок методом магнетронного распыления в разряде с малым анодом при отжиге в азоте и воздухе

    Зайцев, О. В., Гареев, Т. И., Нерушев, О. А., Сорокин, Д. В., Корольков, И. В. & Суляева, В. С., 2025, In: Теплофизика и аэромеханика. 32, 4, p. 755-761

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Previous 1 2 Next

ID: 3509386