Выспупление с научным докладом "Исследования влияния внесения локальной реакционной камеры в магнетронную распылительную систему на качество и характеристики пленок нитрида алюминия"

References

TitleПерспективы развития науки и техники радиосвязи
Media name/outletЛента новостей - АО ОНИИП
Country/TerritoryRussian Federation
Date07.02.2023
PersonsАлена Леонидовна Богословцева

Description

Выспупление с научным докладом "Исследования влияния внесения локальной реакционной камеры в магнетронную распылительную систему на качество и характеристики пленок нитрида алюминия"

Period7 Feb 2023

ID: 59576068