Utkin, D.,
Шкляев, А. А.,
Царев, А. В. &
Латышев, А. В.,
2024,
Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе. Иркутск, 2024. стр. 105 1 стр.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование