Aksenov, M. S.,
Gutakovskii, A. K.,
Prosvirin, I. P.,
Dmitriev, D. V.,
Nedomolkina, A. A. &
Valisheva, N. A.,
1 нояб. 2019,
в: Materials Science in Semiconductor Processing. 102,
5 стр., 104611.
Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование