Шмаков, А. А., 
Коробейщиков, Н. Г., 
Каляда, В. В., 
Пеньков, О. И. & 
Зарвин, А. Е., 
июн. 2015, 
«Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» : Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. Рудяк, В. Я. (ред.). Новосибирск: 
	Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), 
Том 2. 
стр. 174-176 3 стр.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование