Коробейщиков, Н. Г.,
Николаев, И. В.,
Роенко, М. А.,
Гейдт, П. В. &
Струнин, В. И.,
2020,
Surface smoothing of polycrystalline AlN thin films by argon cluster ions : 7th International Congress of Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2020): Abstracts. . Томск,
стр. 256 1 стр.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике › Рецензирование