Volodin, V. A.,
Kamaev, G. N.,
Kruchinin, V. N. &
Gritsenko, V. A.,
1 янв. 2019,
International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018. Lukichev, V. F. & Rudenko, K. V. (ред.).
SPIE,
Том 11022.
8 стр. 1102212. (Proceedings of SPIE; том 11022).
Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование